分子泵的維護(hù)方法有哪些？
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  • 分子泵如果污染嚴(yán)重，則必須完全拆開，由*業(yè)技術(shù)人員處理。嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)和真空性能下降很多，甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時應(yīng)對泵進(jìn)行清洗。
  • 常規(guī)運行中，分子泵一年內(nèi)運行時間少于4000小時的，一年更換一次；一年內(nèi)運行時間多于4000小時的，每運行4000小時必須換油一次。
  • 軸承、減震維護(hù)?隨著分子泵使用時間延長，分子泵軸承在高速運轉(zhuǎn)中受到的磨損越來越嚴(yán)重，減震系統(tǒng)的減震能力越來越差，到一定程度后必須進(jìn)行更換，否則可能出現(xiàn)更大程度的損壞。
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