維修Edwards進(jìn)口分子泵時需要注意什么？有人知道嗎？
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
  • Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
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