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3、分子真空泵的優(yōu)點是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。 4、它的不足：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡單，抽速大的擴(kuò)散泵所代替。
它的特點主要有： 1、泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當(dāng)于一個單級分子真空泵，后一級的入口與前一級的出口相連。 2、轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙，氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。
分子真空泵主要是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向運(yùn)動的速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子真空泵，分子泵，氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。

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