幫忙一下，愛德華分子泵的故障怎么解決？

正常使用下，為什么愛德華分子泵控制器油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過熱，負(fù)載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 全文

操作簡單方便使用 愛德華分子泵控制器控制系統(tǒng)抽氣口及氣路連接口使用快速連接結(jié)構(gòu)，使安裝過程變得簡單方便，只需用卡箍即可實(shí)現(xiàn)安裝。 全文

當(dāng)Edwards真空分子泵維修未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。 全文

安捷倫分子泵噴油，說明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣口直接大氣。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點(diǎn);排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。 全文