潽拓光電：分子泵抽速曲線

分子泵的抽速曲線是描述其在不同真空度下的排氣速率變化的重要工具。該曲線的橫坐標(biāo)代表真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)或真空度，縱坐標(biāo)則代表分子泵在該壓強(qiáng)下的排氣速度（即單位時間內(nèi)排出的氣體體積）。當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力較大時，隨著壓力的逐漸降低，分子泵的實(shí)際抽速會逐漸增加；但當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力降至某一臨界值時，繼續(xù)減小系統(tǒng)內(nèi)部壓力和進(jìn)一步提高分子的平均自由程將不會使有效碰撞次數(shù)增多，反而會使參加動量交換的氣體分子量減少，導(dǎo)致每轉(zhuǎn)一圈所傳遞的總動量變小、氣體的宏觀流動變慢和壓縮比下降等效應(yīng)出現(xiàn)——此時若再進(jìn)一步減壓，就需增大葉片傾斜角度來提高對低速運(yùn)動的氣體的捕獲能力并補(bǔ)償因密度梯度造成的損失—但這也勢必會引起擴(kuò)散流阻的增加而使極限流量有所減?。阂虼嗽谶@一階段中隨著內(nèi)部空間殘余氣壓的不斷降低以及外部大氣與抽空容器之間壓差越來越大等因素作用下會使得整個抽取過程中所需消耗功率急劇上升而效率卻大幅度下滑直至終趨于停滯狀態(tài) —— 此時所對應(yīng)的點(diǎn)即為峰值點(diǎn)后區(qū)域也即所謂的“飽和區(qū)”。曲線左端對應(yīng)的是分子泵的極限真空值及其趨近于零時的理論流速條件限制所在位置 。整條抽速特性表征了從起始高背壓下快速響應(yīng)至接近本底水平期間持續(xù)運(yùn)作的能力范疇及潛在瓶頸制約因素分布概況 。