潽拓光電：渦輪分子泵拆解

渦輪分子泵拆解操作指南一、安全準(zhǔn)備1. 切斷電源并靜置24小時(shí)以上，確保泵體完全泄壓2. 佩戴防靜電手環(huán)、護(hù)目鏡及防塵口罩3. 準(zhǔn)備工具：陶瓷扳手、無塵布、高真空潤滑脂、氮?dú)獯祾哐b置二、拆解流程（1）外部組件拆卸- 拆除真空法蘭接口（使用六角扳手逆時(shí)針?biāo)擅摚? 卸除冷卻水管接頭（注意收集殘留冷卻液）- 斷?緇繚聰嘸白俅釁鶻油?/p>（2）組件分解1. 轉(zhuǎn)子組件：使用拉拔器垂直取出轉(zhuǎn)子組，保持0.1mm/s勻速2. 軸承系統(tǒng)：80℃熱風(fēng)均勻加熱軸承座，分解陶瓷軸承與軸套3. 渦輪葉片組：按編號(hào)順序拆除20-40級(jí)葉輪（間隔0.5mm墊片需單獨(dú)存放）4. 定子組件：拆卸導(dǎo)流環(huán)時(shí)避免觸碰表面鍍層三、注意事項(xiàng)1. 潔凈度控制：在ISO 5級(jí)潔凈環(huán)境操作，相對(duì)濕度≤45%2. 防靜電處理：所有零件須置于接地的防靜電托盤3. 標(biāo)記管理：使用激光刻錄筆標(biāo)記配合相位標(biāo)記4. 數(shù)據(jù)記錄：拍攝各組件拆卸方位照片并建立三維坐標(biāo)記錄四、部件存儲(chǔ)- 轉(zhuǎn)子組件?捍怪?jǐn)傈挂诱婔b潞閌洌?2±1℃）- 陶瓷軸承：浸泡在真空脂中密封保存- 金屬密封圈：單獨(dú)封裝于氮?dú)馓畛浯鸾夂笮柽M(jìn)行動(dòng)平衡檢測（殘?嗖黃膠飭坑Γ?0.5g·mm）和氦質(zhì)譜檢漏（漏率＜1×10^-9 Pa·m3/s），建議由持有ULVAC或LEYBOLD認(rèn)證的技術(shù)人員操作。整個(gè)拆解過程應(yīng)控制在6小時(shí)內(nèi)完成，避免大氣污染物吸附。