潽拓光電:渦輪分子泵保養(yǎng)
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  • 渦輪分子泵作為高真空系統(tǒng)的動力,其穩(wěn)定運行直接關(guān)乎實驗精度與設(shè)備壽命。科學(xué)保養(yǎng)是關(guān)鍵,主要涵蓋以下層面:

    一、日常操作規(guī)范(基礎(chǔ)防線)

    *潔凈啟停:啟動前確保腔體清潔干燥,避免顆粒物或腐蝕性氣體進(jìn)入;停機時遵循“先關(guān)高真空閥,后停泵”原則,防止泵油倒吸污染。

    *平穩(wěn)運行:運行中監(jiān)控振動與噪音,異常波動往往是軸承磨損或動平衡失效的信號,需立即排查。

    *冷卻保障:確保水冷系統(tǒng)暢通,水溫流量達(dá)標(biāo)(參照手冊),過熱會加速潤滑油老化及部件變形。

    二、周期性維護(主動防御)

    *油霧過濾器:每3-6個月檢查/更換,失效會導(dǎo)致油蒸氣反流污染腔體,影響真空度。

    *潤滑油監(jiān)測:每運行2000-4000小時或按廠家建議更換潤滑油。舊油氧化會產(chǎn)生酸性物質(zhì)腐蝕軸承。換油時排空舊油并清洗油箱。

    *軸承狀態(tài):運行聲音,異常高頻噪音或振動加劇提示軸承磨損(尤其磁懸浮軸承需檢測)。定期檢查軸承溫度。

    *密封與連接:檢查O型圈、法蘭密封面是否老化龜裂,真空脂是否均勻無雜質(zhì),及時更換失效密封件。

    三、深度保養(yǎng)與服務(wù)

    *內(nèi)部清潔:每1-2年或污染嚴(yán)重時,由人員拆卸清洗泵體內(nèi)部,清除沉積物(尤其渦輪葉片間),恢復(fù)抽速。

    *軸承更換:機械軸承壽命通常1-3萬小時,到期或異常時需由原廠或授權(quán)機構(gòu)更換,確保動平衡精度。

    *電路檢測:定期檢查電源、控制器接線及散熱,避免電氣故障導(dǎo)致停轉(zhuǎn)。

    安全提示:

    *維護前務(wù)必斷電,待泵體完全冷卻!

    *高速轉(zhuǎn)子具有慣性,勿強行制動!

    *嚴(yán)格使用廠家耗材(油品、密封件)。

    存放要點:長期停用需排空潤滑油,充入干燥氮氣密封進(jìn)出口,存放于干燥無塵環(huán)境。

    遵循手冊,定期維保,您的渦輪分子泵將持久提供純凈、穩(wěn)定的高真空環(huán)境,為科研與生產(chǎn)保駕護航。

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