返油現(xiàn)象是指分子泵在運行或停機過程中，其內(nèi)部的潤滑油（或潤滑脂）蒸氣、微小液滴或裂解產(chǎn)物逆向擴散或倒流回被抽真空腔室的現(xiàn)象。這會造成腔室、樣品或工件的嚴重污染，尤其在半導(dǎo)體、光學鍍膜、表面分析等高潔凈領(lǐng)域危害極大。
返油主要原因：
1.油擴散與反擴散：高溫下泵油蒸氣會向真空度更高的腔室方向擴散。
2.溫度梯度與重力：停機冷卻時，泵體溫度下降快于泵芯，內(nèi)部油蒸氣冷凝回流；重力作用使液態(tài)油流向低溫、低處。
3.閥門密封不嚴：泵入口隔離閥關(guān)閉不嚴或存在微小泄漏。
4.泵體設(shè)計/狀態(tài)：某些泵型或維護不良的泵（如油位過高、油質(zhì)劣化）返油率更高。
返油是分子泵應(yīng)用中的重大風險。處理在于快速隔離、清潔、嚴格驗證。建立完善的預(yù)防性維護制度和規(guī)范操作流程，是減少返油發(fā)生及其損失的根本之道。
Edwards進口分子泵維修要注意什么內(nèi)容？ 知道的請回答
當Edwards進口分子泵出現(xiàn)故障無法使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。 全文
Edwards進口分子泵主要特點是？有人知道嗎？
Edwards進口分子泵低振動：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會隨零件磨損而化。 全文
請問：怎么維修Leybold分子泵？
Leybold分子泵涵蓋各應(yīng)用領(lǐng)域如：工業(yè)應(yīng)用、PET擠出機脫氣、電池烤箱、吸塑機械、包裝機械、實驗室、半導(dǎo)體、線路板、光伏太陽能、平板顯示等； 全文
Edwards真空分子泵維修的特點是什么？教期待大神解答
現(xiàn)在Edwards真空分子泵維修機組的使用頻率很高，這款泵的使用，在應(yīng)用了以后是可以利用高速旋轉(zhuǎn)的方式，將氣體分子進行合適的輸送，而且也可以保證定向的速度，進行的氣體壓縮和排放的效率都會提高很多，增加.. 全文
