

分子泵負載過大(過載)是一個嚴重問題,會導(dǎo)致泵體過熱、異常噪音、振動加劇,終可能損壞昂貴的分子泵轉(zhuǎn)子軸承或電機。
分子泵負載過大是系統(tǒng)發(fā)出的危險信號。前級真空不足和軸承潤滑失效是常見誘因。必須立即停機,遵循從系統(tǒng)(前級真空、泄漏、工藝氣體)到泵本體(潤滑、冷卻、機械轉(zhuǎn)動)再到電氣控制(驅(qū)動器、電機)的排查順序,由簡入繁。忽視此問題將導(dǎo)致分子泵部件(轉(zhuǎn)子、軸承)的災(zāi)難性損壞,造成高昂的維修費用和停機損失。安全操作和及時維護是預(yù)防的關(guān)鍵。
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