渦輪分子泵真空度

真空度通常以帕斯卡（Pa）或托（Torr）表示。渦輪分子泵的使命，是將氣體分子從被抽容器中移除，從而將壓力降至高真空（HV，10^{-3}Pa~10^{-7}Pa）乃至超高真空（UHV，<10^{-7}Pa）范圍。這個(gè)“低氣壓”水平，是半導(dǎo)體鍍膜、粒子、表面科學(xué)分析等領(lǐng)域不可或缺的基礎(chǔ)。

渦輪分子泵的真空度是其能力的量化體現(xiàn)。它通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片對(duì)氣體分子進(jìn)行的動(dòng)量傳遞和分級(jí)壓縮，是實(shí)現(xiàn)高真空和超高真空的主力軍。理解其工作原理及影響極限真空度的因素（氣體負(fù)荷、密封、抽速、前級(jí)泵、清潔度），對(duì)于設(shè)計(jì)、操作和優(yōu)化真空系統(tǒng)至關(guān)重要，是科技領(lǐng)域的關(guān)鍵鑰匙。