潽拓光電:復(fù)合分子泵改造
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  • 復(fù)合分子泵作為現(xiàn)代高真空和超高真空系統(tǒng)的組件,其性能直接決定了系統(tǒng)的抽氣能力、極限真空度和穩(wěn)定性。隨著應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展(如半導(dǎo)體制造、精密鍍膜、粒子、科研儀器等)以及對(duì)效率和可靠性要求的不斷提高,對(duì)現(xiàn)有復(fù)合分子泵進(jìn)行針對(duì)性改造成為提升系統(tǒng)整體效能的重要策略。

    復(fù)合分子泵改造是一項(xiàng)精細(xì)工程,通過材料、設(shè)計(jì)、控制系統(tǒng)的針對(duì)性升級(jí),可以有效挖掘設(shè)備潛力,提升其抽氣性能、環(huán)境適應(yīng)性、運(yùn)行可靠性和智能化水平,滿足不斷發(fā)展的工業(yè)和科研需求,是延長(zhǎng)設(shè)備生命周期、優(yōu)化生產(chǎn)效率和降低總體成本的有效途徑之一。

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