高真空分子泵維護保養(yǎng)的要點：
日常維護
1.運行監(jiān)控
-定期檢查泵體溫度、振動及噪音，異常時立即停機排查。
-監(jiān)控電源和控制器狀態(tài)，確保電壓穩(wěn)定，避免過載。
2.清潔與防護
-保持泵體表面清潔，定期用無塵布擦拭，防止粉塵堆積。
-停機時關(guān)閉真空閥，防止大氣中的顆?；蛞后w倒灌污染泵腔。
3.潤滑系統(tǒng)
-油潤滑泵：每3個月檢查油位和油質(zhì)，油色渾濁或雜質(zhì)多時需更換潤滑油。
-脂潤滑泵：按廠家建議周期（通常1-2年）補充或更換高速軸承潤滑脂。
定期保養(yǎng)
1.軸承維護
-軸承壽命約2-5萬小時，需定期檢測磨損（如振動分析），到期強制更換。
-更換軸承需操作，避免安裝偏差導(dǎo)致轉(zhuǎn)子失衡。
2.內(nèi)部清潔
-每1-2年拆洗泵腔和葉輪，使用無殘留溶劑（如異）清除油污或顆粒物。
-嚴(yán)禁使用金屬工具刮擦，避免損傷精密葉片。
3.系統(tǒng)匹配檢查
-確保前級泵抽速與分子泵匹配，定期維護前級泵（如油霧過濾器清潔）。
-檢查真空管路密封性，避免漏氣導(dǎo)致分子泵過載。
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