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所以反映在電鏡圖像上,改變焦距的時(shí)候會出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸,拉伸方向可能因樣品而不同,但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調(diào)節(jié)至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,進(jìn)行消像散線圈的調(diào)節(jié),先調(diào)X或Y中的一個(gè)維度,待圖像達(dá)到清楚后再調(diào)節(jié)另一個(gè)維度。

有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難,試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù),比如孔洞或者顆粒,或者樣品邊緣,都可以輕易的進(jìn)行判斷。尤其在像散比較大時(shí),不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣,以免像散過大而完全無從判斷。

在掃描電鏡中,入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步,保證了樣品上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對應(yīng),稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個(gè)與物點(diǎn)一一對應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的,正因?yàn)槿绱?,才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外,還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。

掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器? 。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類豐富,掃描電鏡細(xì)胞焦亡技術(shù)服務(wù),幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前,掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。

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