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為什么會(huì)出現(xiàn)這樣奇怪的現(xiàn)象?為什么更好的分辨率卻沒(méi)有得到更真實(shí)的圖像?前面我們已經(jīng)說(shuō)到,電子束是由掃描線圈的脈沖信號(hào)控制,電子束在試樣表面并不是連續(xù)掃描,而是逐點(diǎn)跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會(huì)誤以為是連續(xù)掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。

束斑中心的距離取決于放大倍數(shù)和采集像素大小。當(dāng)束斑較大時(shí),束斑覆蓋比較;但是當(dāng)束斑減小時(shí),束斑的覆蓋區(qū)域也越來(lái)越小,所以有的特征形貌會(huì)從束斑兩個(gè)跳躍中心穿過(guò)而沒(méi)有被覆蓋到,所以相應(yīng)的形貌特征也不會(huì)反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數(shù)小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數(shù)后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來(lái)。

在觀察中電子束長(zhǎng)時(shí)間轟擊生物醫(yī)學(xué)樣品標(biāo)本,必會(huì)使樣品污染或損傷。所以對(duì)有診斷分析價(jià)值的區(qū)域,若想長(zhǎng)久地觀察分析和反復(fù)使用電鏡成像結(jié)果,透射電鏡EDS檢測(cè)技術(shù)服務(wù),應(yīng)該盡快把它保留下來(lái),將因?yàn)殡娮邮Z擊生物醫(yī)學(xué)樣品造成的污染或損傷降低到。此外,熒光屏上的粉質(zhì)顆粒的解像力還不夠高,尚不能充分反映出電鏡成像的分辨本領(lǐng)。將影像記錄存儲(chǔ)在膠片上照相,便解決了這些問(wèn)題。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說(shuō)的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個(gè)微也就不稱(chēng)其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過(guò)程與電視成像過(guò)程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來(lái)說(shuō)明掃描電鏡成象的原理。

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