




儀器工作在穩(wěn)定的狀態(tài),在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣, 分別采取持續(xù)抽、空氣清氦、氮?dú)馇搴さ那搴し绞剑瑑x器再按開始鍵,記錄清氦所需時間。而通過實驗表明,利用氮?dú)鈦砬搴さ男适歉叩摹hb于儀器在檢漏的過程中氮?dú)馇搴さ男裕瑢x器的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。增加清氦電磁閥。在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加氮?dú)馇逑丛O(shè)置,有效的避免了在檢漏過程中,氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響,另外儀器控制中還可以增加大漏保護(hù)設(shè)置,汽車行業(yè)檢漏廠,即儀器在檢測到大漏時,儀器自動停止,防止大量氦氣再進(jìn)入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇,利于對儀器的清氦,保證儀器檢測的高靈敏度。

檢漏儀對示漏氣體的要求:在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo):1. 小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選)。

通過外部檢漏通常都會解決,但在多遍檢漏后問題若是仍然存在,我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點。筆者發(fā)現(xiàn),內(nèi)漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證,可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下,將閥門的保護(hù)氣體一端法蘭打開- -縫隙,充入氦氣檢查是否漏氣,若不漏氣,再將閥門連接好后立即充入保護(hù)氣體到管路中,如果這時檢漏儀漏率值上升,那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。


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