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廣州潽拓光電科技有限公司——alcatel分子泵 真空泵技術(shù)升級(jí)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體材料及設(shè)備，其中真空產(chǎn)品主要在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用；中游半導(dǎo)體制造的he心是集成電路制造，包括IC設(shè)計(jì)、IC制造以及IC封測(cè)；下游的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域眾多，quan球半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域排名前san的行業(yè)是通信及智能手機(jī)、PC/平板、工業(yè)/yi療。真空泵技術(shù)升級(jí)

干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國(guó)外的干泵市場(chǎng)正處于蒸蒸日上的階段，如日本，alcatel 分子泵電源，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，alcatel分子泵維修維護(hù)，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。真空泵技術(shù)升級(jí)

為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。真空泵技術(shù)升級(jí)

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單級(jí)旋片式真空泵的真空度只能到達(dá)1*10-2托，不能到達(dá)再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空間”，空間中的氣體是無(wú)法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過(guò)排氣口后，這一有些氣體又被緊縮，經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以，“有害空間”越小，泵極限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問(wèn)，兩者間存在著必定的壓強(qiáng)差。當(dāng)排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí)，壓弧很高，會(huì)經(jīng)過(guò)各種可能的路徑打破到吸氣空間去，使真空度下降。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

3、泵油在泵體內(nèi)循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì)溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間，因?yàn)閴簭?qiáng)較低，溶解的氣體又會(huì)跑出來(lái)，使泵的真空度不易進(jìn)步。

為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量削減安裝空隙和有害空間以外，真空可以認(rèn)為zui有用的辦法是將兩只單級(jí)泵串接起來(lái)，組合成雙級(jí)泵。這樣，極限真空度將提高，可達(dá)10-4托(進(jìn)口真空泵可到達(dá)10-5托)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉(zhuǎn)子和定子組成。旋轉(zhuǎn)圓盤和固定圓盤交叉排列，一個(gè)轉(zhuǎn)子盤和一個(gè)定子盤組成一個(gè)泵級(jí)。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)得越快，抽吸效果就越顯著。現(xiàn)代泵的轉(zhuǎn)速已高達(dá)90 000 min-1，圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機(jī)轉(zhuǎn)速就能達(dá)到142 m/s。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

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泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入中壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳；溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。漏油。可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮(zhèn)閥（例如2X-8）等部位。

羅茨泵的特點(diǎn)是啟動(dòng)快、功耗少、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)低、抽吸速度大、效*高，對(duì)被抽吸氣體中含有的少量水蒸氣和灰塵不敏感；水環(huán)式真空泵結(jié)構(gòu)緊湊，葉輪轉(zhuǎn)速快，可以和電機(jī)直接進(jìn)行連接，不需要減速裝置。進(jìn)氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，荔灣區(qū)alcatel分子泵，操作簡(jiǎn)單，維修便捷。Alcatel分子泵控制器維修

運(yùn)轉(zhuǎn)中真空系統(tǒng)內(nèi)氣體會(huì)通過(guò)密封真空泵油層不斷排出，排出氣體會(huì)在油層表面產(chǎn)生大量氣泡，并從泵排氣孔中溢出，造成油品損失與設(shè)備污染。加防抗泡劑泵油，alcatel分子泵保養(yǎng)價(jià)格，在抗泡效果上有明顯提高。天然礦物油均有其不可避免漏洞，耐熱化性能要比合成油差，泵油成份隨熱氧化分解極易劣化，極限壓力穩(wěn)定性差，抽速也隨運(yùn)用時(shí)間下降。Alcatel分子泵控制器維修

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