磁懸浮分子泵（MaglevTurbomolecularPump）代表了渦輪分子泵技術的，其優(yōu)勢在于利用磁懸浮軸承完全消除了轉子與定子之間的機械接觸。這一革命性設計不僅帶來了超長壽命、極低振動和免維護等優(yōu)點，更關鍵的是，它顯著提升了泵所能達到的極限真空度。
磁懸浮分子泵通過消除機械接觸和潤滑劑污染，將渦輪分子泵的極限真空推向了10^{-9}-10^{-10}Pa量級。這一性能使其成為半導體制造、表面科學、高能物理、材料研究等要求清潔超高真空環(huán)境的關鍵設備。其極限真空的終實現，依賴于的材料科學、精密的制造工藝和嚴格的無污染控制。
普發(fā)分子泵的特點、用途有哪些？
3、分子真空泵的優(yōu)點是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。 4、它的不足：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際.. 全文
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抽速是分子泵的核心參數，提高轉速是加大抽速為直接的方法之一，隨著動平衡技術的發(fā)展，分子泵轉子可順利地在超高轉速下穩(wěn)定運轉。隨著材料科學的發(fā)展，分子泵轉子材料也發(fā)生了變化，可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等.. 全文
